硅是不锈钢中的主要耐蚀元素之一，高的硅含量提高了不锈钢在98％浓硝酸中的耐全面腐蚀的性能（在稀硝酸中正相反）和抗氧化物应力腐蚀及点腐蚀性能。常用的含硅奥氏体不锈钢有：06Cr18Ni13Si4、05Cr19Ni10Si2CeN、16Cr20Ni14Si2、16Cr25Ni20Si2、12Cr18Ni19Si3及022Cr14Ni14Si4等。
典型含硅奥氏体不锈钢的热处理工艺如下：
一、06Cr18Ni13Si4不锈钢的热处理
06Cr18Ni13Si4不锈钢是在06Cr19Ni10不锈钢的基础上增加镍、添加硅而发展起来的奥氏体不锈钢，硅是铬镍奥氏体不锈钢中不可缺少的重要合金元素，可提高钢的耐应力腐蚀、耐浓硝酸及硫酸的腐蚀性能。用于含氯离子环境，如汽车排气净化装置。其热处理工艺是：
消除加工应力退火，加热温度300～350℃，保温1～2h，空冷。
消除焊接应力退火，加热温度700～900℃，保温1～3h，空冷。
消除冷作加工硬化退火，加热温度750～850℃空冷，固溶处理加热温度1010～1150℃，水冷或空冷，固溶后硬度≤207HBW。
二、16Cr20Ni14Si2不锈钢的热处理
16Cr20Ni14Si2不锈钢是含硅奥氏体不锈钢，具有较高的高温强度及抗氧化性，适用于制造承受应力的各种炉用构件，其热处理工艺是：
消除加工应力退火，加热温度300～350℃，保温1～2h，空冷。
消除焊接应力退火，加热温度700～900℃，保温1～3h，空冷。
消除冷作加工硬化退火，加热温度750～850℃，保温1～3h，空冷。
固溶处理，加热温度1080～1130℃，水冷或空冷，固溶后硬度≤187HBW。
