一、离子渗氮设备
离子渗氨炉应密封良好，符合JB/T 2897《辉光离子氮化炉基本技术条件》的要求。
设备配备有压力表、气体流量计、U形真空计，可对渗氨过程进行炉内压力、真空度、氨气供应量的控制和监测。还应配有测温装置。
为保证零件的渗氮效果，根据需要炉内可设置辅助阳极。
二、渗氮介质
采用瓶装氨气，应符合GB 536《液态无水氨标准》中的一级标准。氨气通入前应经过干燥处理。
氨气应减压后经过流量计通入炉内，压力一般不超过0.1MPa,并可调控流量。
三、渗氮零件的预先处理
不锈钢渗氮件应按“不锈钢渗氮前的预先处理”的要求进行预处理。
四、离子渗氮前的生产准备
①. 渗氮件的检查。
离子渗氮工件表面应清洗，去除锈痕、油污、脏物，并在入炉前烘干。工件不宜有尖角、锐边。为保证离子渗氮的质量，工件表面粗糙度应达Ra 1.6μm或更高，对于渗氮后不再磨削的工件，表面粗糙度不大于Ra 0.8μm.离子渗氮件原则上不留加工余量，必须留有磨量时，最大留量不大于0.05mm。
②. 对于工件上易引起辉光放电之处，如小孔（特别是ф1~68mm的盲孔）、缝隙等，应采取堵塞等措施，以防止打弧。对不需要渗氮的部位应屏蔽。注意，不能采用镀层的方法。
③. 工件入炉前，应检查设备的机械、电气系统及附属装置，保证正常使用。
④. 根据工件的形状适当摆放或吊挂，要防止相互接触，工件的间距不小于10mm,如采用辅助阳极，阳极与氮化件表面的距离在50~120mm时效果最好。
⑤. 根据技术检查的要求，放入同材质并经过相同预先处理的试块。
五、渗氮操作
工件入炉后盖好炉盖，连通各管道，开启真空泵、排除炉内空气，预抽真空。当炉内真空度达7~40Pa时可稍加氨气接通电源，输入高压电流起辉，开始应采用不大于10A的小电流打弧，溅射工件，使工件表面净化。
当工件表面已净化、辉光稳定后，应加大电流，使工件升温，为防止工件变形，可根据零件的情况缓慢升温，升温速度视情况控制在100~150℃/h之间。
炉温升至规定的保温温度后，稳定电压、电流进行保温，按工艺规范调整电压、电流、温度、氨量、炉内压力等参数，控制辉光厚度在2~3mm之间。
工件保温结束后停止供气，切断电源，使工件冷却。对于有严格变形要求的零件，也可继续以小电流维持弱辉光，从而降低炉内工件的冷却速度。
工件应在150℃以下出炉。开启炉盖前应向炉内通入空气，以恢复炉内的压力。
操作结束后按规定进行质量检查。
1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢离子渗氮工艺如图7-6所示。
