1. 厚沉积碱性铜电刷镀液的性质
①. 厚沉积碱性铜电刷镀液呈碱性,pH=8.5~9.5,呈蓝紫色。
②. 沉积速率快,一次镀厚能力大。
③. 可以直接在不锈钢工件上沉积铜,不会产生置换反应,乙二胺与铜形成的配离子最稳定,金属铁原子不能从胺合铜的配离子中置换铜。
④. 镀液价格较贵,且含乙二胺,有毒,加强劳动保护,不可与皮肤接触。
2. 厚沉积碱性铜电刷镀铜液的用途
厚沉积碱性铜电刷镀铜主要用来沉积过渡层和需要用铜来沉积厚尺寸的场合。
3. 厚沉积碱性铜电刷镀液成分
甲基磺酸铜[Cu(CH3SO3)2] 322g/L 、氯化钠(NaCl) 1g/L
乙二胺[(NH2CH2)2] 178mL/L 、pH8.5~9.5
4. 厚沉积碱性铜电刷镀液的配制
在1000mL烧杯中加入甲基磺酸铜322g,加入蒸馏水400mL,搅拌溶解后,在搅拌下缓慢滴加乙二胺178mL,再加入氯化钠1g,搅拌溶解,用乙二胺或甲基碳酸调节pH约9,最后倒人1000mL量筒或量杯中,加蒸馏水至刻度。
如无甲基磺酸铜,可用碱式碳酸铜[Cu(OH)2·CuCO3]和甲基磺酸(CH3SO3H)配制成甲基磺酸铜。方法如下:称取碱式碳酸铜161g放入1000mL烧杯中,加蒸馏水400mL,在搅拌下滴加甲基磺酸至碳酸铜中使恰好溶解为止,即化合得甲基磺酸铜。甲基磺酸不可过量,否则溶液pH将低于8.5。如有少量甲基磺酸铜未溶解,可加热搅拌溶解。然后冷却至室温,在搅拌下缓慢滴加乙二胺178mL,用乙二胺和甲基磺酸调节pH至9左右,加氯化钠1g,搅拌溶解后倒入1000mL量筒或量瓶中,加蒸馏水至刻度。
5. 操作方法和工艺规范
耗电系数:0.079A·h/(d㎡2·μm);
工作电压:8~14V(接正极性);
阴阳极相对运动速率:6~12m/min;
最大镀铜厚度:0.5mm;
使用温度:10~50℃.