气相沉积按形成的基本原理，分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。气相沉积是在工件表面覆盖一层厚度为0.5～10μm的过渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等）与C、N、O、B等形成的化合物，或单一的金属及非金属涂层，使零件表层改变化学成分，并在其表面形成功能性（例如超硬耐磨层）或装饰性的化合物涂层的新技术，现已广泛应用于各类零件的硬化处理。沉积层的主要类别及特性见表3-38。
主要应用的沉积层TiC、TiN涂层有以下特点：
a. 涂层有很高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因数和自润滑性能，所以抗磨粒磨损性能良好。
b. 涂层具有很高的熔点（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化学稳定性好，基体金属在涂层中的溶解度小，摩擦因数较低，因而具有很高的抗粘着磨损能力，使用中发生冷焊和咬合的倾向也很小，而且TiN比TiC更好。
c. 涂层有较强的耐蚀性，TiC涂层在硫酸、盐酸、氯化钠水溶液中的耐蚀性良好，而且TiN的耐蚀性一般都比TiC更好一些。
d. 涂层在高温下也具有良好的抗大气氧化能力（TiC大约可达400℃，TiN大约可达500℃），高于以上温度，在空气中的TiC、TiN将被氧化成TiO2而失去其原来的性能。
