早在50年代初，在试验室采用高真空极纯材料炼出含C＋N＜0.01％、25％Cr的高纯铁素体不锈钢，这种钢具有优良的室温缺口韧性。1969年美国首次采用CRP法（真空感应炉与电子束联合提纯法）生产出C＋N≤0.001％的EB26-1钢，即ASTM XM-27（我国于1975年试制成功），1979年日本采用真空感应炉与真空自耗炉双联工艺生产了高纯Cr18Mo2钢（我国于1980年采用真空感应炉生产）。这是两类基本的具有代表性的高纯高铬铁素体不锈钢。
高纯高铬（16～30％Cr）铁素体不锈钢常含有1～4％的钼，以改善其耐非氧化性介质和点蚀、缝隙腐蚀等性能，对晶间腐蚀还起一定的延迟敏化的作用。C＋N总量的最大允许（临界）含量，随钢种成分和用途要求而异。为避免晶间腐蚀所需控制的临界含量比克服室温脆性更严格（更低）。高纯铁素体不锈钢在C＋N总含量极低时，经焊接或高温固溶淬火处理后，可以消除晶间腐蚀敏感性（这与含中等以上碳氮含量的普通铁素体不锈钢不同，却同奥氏体不锈钢相似）。用贫铬理论可以解释这种表面似乎矛盾而本质相同的现象。但是，由于要求临界含量很低（一般高纯级的C＋N≤0.01～0.015％），在大规模工业生产上不是难以实现，就是价格昂贵。如在某些情况下为完全克服晶间腐蚀，严格要求C＋N应小于0.006％但仍存在冷却速度效应和尺寸效应。除继续采用大型真空感应炉生产外，已逐渐更多地采用炉外精炼技术和适当放宽控制含量，并辅以运用稳定化原理，添加钛、铌元素等。发展了超低碳氮（C＋N≤0.03％）和低碳氮（C＋N≤0.035～0.045％）高铬铁素体不锈钢。在一定程度上能克服普通铁素体不锈钢的某些缺点和不足。如控制掌握好钢材截面尺寸、热处理冷却速度和焊接工艺，是可以广泛使用的。我国于1982年已采用炉外精炼方法批量生产低碳氮和超低碳氮铁素体不锈钢，获得广泛应用。
